制程特用化学品
详细说明：
代理Tri Chemical High-K等先进制程特用化学品
规格：
For 40nm ~ 28nm or more advnace process
产品：
| Al前躯体 CVD&ALD | Hf前躯体 CVD&ALD |
| 三甲基铝TMA | 四(二甲氨基)铪TDMAH |
| 三乙基铝TEA | 四(甲乙氨基)铪 TEMAH |
| 其他前躯体CVD&ALD | (二甲基氨基)环戊二烯基铪HOC |
| PDMAT | Si前躯体 CVD&ALD |
| TDMAT | 三(二乙基氨基)硅烷3DMAS |
产品联络人
黃桂芬 Margaret Huang
营业处
苏州市相城区嘉元路959号元和大厦508室
TEL:051265124088 ext.198
e-mail:info.suzhou@topco-global.com
