製程特用化學品
详细说明：
代理Tri Chemical High-K等先进制程特用化学品
规格：
For 40nm ~ 28nm or more advnace process
產品：
| Al 前軀體 CVD&ALD | Hf 前軀體 CVD&ALD |
| 三甲基鋁TMA | 四(二甲氨基)鉿TDMAH |
| 三乙基鋁TEA | 四(甲乙氨基)鉿 TEMAH |
| 其他前軀體 CVD&ALD | (二甲基氨基)環戊二烯基鉿HOC |
| PDMAT | Si 前軀體 CVD&ALD |
| TDMAT | 三(二乙基氨基)矽烷3DMAS |
產品聯絡人
黃桂芬 Margaret Huang
營業處
蘇州市相城區嘉元路959號元和大廈508室
TEL:051265124088 ext.198
e-mail:info.suzhou@topco-global.com
